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          特氣供應設備閥門箱VMB和閥門盤VMP有哪些功能應用?沃飛科技為您解惑

          2023-02-04 15:35:53        0

           

            VMB閥門分配箱(Valve Manifold Box),是一種內嵌多支路,實現高純氣體或液體分流的閥門箱,它能讓氣體從單一來源被分配到多點應用。對于每個使用點, 氣壓可被單獨地調控, 從而滿足個別應用需求。它還提供循環清潔功能和真空抽氣功能, 因此操作人員能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地維護VMB的每一部份。除此以外,設備運行過程中能在不影響其它支路氣體供應情況下,吹掃某一支路或對其進行真空抽氣。VMB 被設計且制造成為單一氣體使用,不能讓兩種氣體共同使用。專為腐蝕性、毒性等危險性氣體供應。閥門盤VMP(Valve Manifold Panel)與VMB區別在于它使用的開放式管道分配部件,一般用于惰性氣體。

            



           

            目前因制程越來越先進,所以產生BSGS的系統,而未達到供應的穩定,且可以一臺分配到多臺VMB,所以在中間都會在增加VDB 。VDB(Valve Distributing Box)就是VMB的總管,主管路到FAB內先接VDB,再分到各各VMB內,其中的VDB有些廠叫做FDB(Flow Dispense Box),流量分配盒,一般都是用在流量需求特別大的氣體供應上。VDB是進二(有一路做BACKUP)路管道,出多路管道。惰性氣體可選用VDP(Valve Dispense Panel)。

            閥門箱VMB和閥門盤VM在硬件上具有幾大部分,分別是人機界面、PLC電磁閥、警急遮斷按鈕、LED指示燈、紫/紅外線火焰感知器、差壓設定開關、差壓計、繼電器、電源供應器、溫度開關、I.A過流量開關等。其中,人機界面作為人與控制器的控制與溝通界面,一方面可顯示系統目前的狀況,還可接受操作人員下達的指令,作為系統運作的確認。而紫/紅外線火焰感知器可以在感測到火災發生時作動,將訊息傳至PLC處理;差壓設定開關是當箱體與大氣壓之差壓未達設定值動作,可以將訊息傳至PLC處理;溫度開關在感測到箱體溫度高于設定值時,能夠將訊息傳至PLC處理;I.A過流量開關是當驅動氣動閥之軟管松脫或爆裂導致流量過大時,可將輸出訊號告知。

            



           

            歷經多年的技術迭新與系統升級,目前閥門箱VMB和閥門盤VMP安全功能顯著,其部分操作應用既滿足了工藝生產過程中對高純介質的連續供給和高純度的要求,同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全。比如按下緊急停止按鈕即可關斷所有的氣動閥;當遠程緊急停止動作驅動則即可關斷所有的氣動閥;當氣動閥驅動壓力不足時則會輸出警報告知,設定壓為 0.4 ~ 0.63 Mpa;當偵測到箱體環境溫度高于設定值時則會輸出警報告知并且自動關閉所有閥件,設定溫度為70℃;當感測到火災發生時作動,則會輸出警報告知并且自動關閉所有閥件;當管路內的流量過大導致驅動過流量開關(EFS),則會輸出警報告知并且自動關閉該使用側的閥件;當箱體內的壓差過小的狀態下,則會輸出警報告知,設定壓差為50 Pa以上。

            



           

            



           

            長期以來,作為專業從事氣體系統工程設計安裝、技術服務咨詢和配套產品生產銷售為一體的國家高新技術企業,沃飛科技致力于為先進制造企業及研發機構提供高純工藝系統解決方案,業務涵蓋了整個系統方案設計、材料和設備供應、安裝、測試、調試和系統托管服務,工程項目覆蓋半導體、集成電路、平板顯示、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫藥、各類實驗室、研究所、標準檢測等高科技行業,銳意為客戶提供高純介質輸送系統全套解決方案,在成為行業領先的專業系統集成服務商的道路上穩健快速發展,逐步成為行業領先的整體系統供應商。






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